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SPMC的生產車間寬敞,布局合理,有1600平米加工制造車間、高精度的CNC加工中心、大尺寸雕刻機;200平米千級和萬級的潔凈室;配備潔凈空氣、氮氣及去離子水;208伏和308伏的三相電壓;配套了先進的進口焊接、剪裁、測試及裝配工具。
 
 
硅密(常州)電子設備有限公司
常州新北區電子產業園新科路21號
 
工作時間
周一~周五8:30-17:30

電話:(0519) 85486173
傳真:(0519) 85486203
  半 導 體


手動濕法RCA清洗設備

在IC制造過程中大約有40%的工藝都與清洗、蝕刻相關,這種設備的性能、可靠性、產品的質量會直接影響到硅電路是否存在污染物,晶圓表面的顆粒雜質。

該系列的清洗設備是可實現全自動、半自動、手動的控制,可用于

  • RCA clean
  • Standard clean 1 (SC 1清洗)
  • Standard clean 2 (SC 2清洗)
  • HF 最端清洗
  • 有效的光阻、殘留物的去除及剝離
  • Si或者硅的化合物的刻蝕
  • 超聲/兆聲去除顆粒的工藝制程設備

等清洗、蝕刻工藝

設備可滿足2’’-12’’晶圓的清洗、蝕刻,設備所用材料要能達到清洗工藝中的耐腐蝕及潔凈度的要求, 可以達到“超潔凈”的測定 所供設備和材料的設計、選購、制造、檢驗和測試均按照相關國家、半導體行業標準(SEMI-S2-93)執行,ISO9001質量管理體系進行規范和保證有機溶劑。

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